新規プロセス開発による希土類酸化物超微粒子を開発 サンプル供給開始

マイクロ波を利用した新規プロセスによる希土類酸化物超微粒子を開発

ユーザー向けサンプル供給を開始

　マイクロ波化学株式会社（本社所在地：吹田市、代表取締役社長：吉野巌）は、マイクロ波^＊1を利用して電子部品の微細化、
プロセスの効率化に必要不可欠なナノメートルサイズ（1ナノメートルは１メートルの10億分の１)の希土類酸化物超微粒子を開
発しました。製造プロセスの確立に伴い、製造をマイクロ波化学株式会社、販売を岩谷産業株式会社が担当し、ユーザー向けサ
ンプル供給を開始します。

　新たに開発した、「マイクロ波を用いた新たな粒子制御技術によるナノレベルでの希土類酸化物超微粒子製造プロセス」を用
いることにより、従来法では製造が困難であった10 ~ 60 nmから選択制御された粒径、シャープな粒度分布、さらに特異的に制
御された形状（厚み 1 ~ 2 nmの薄膜円盤形状等）を有した粒子製造が可能となります。

　上記製造プロセスの確立に成功したことから、本格的なサンプル供給を開始します。用途としては、電子セラミックス(セラミ
ックコンデンサ等)、窒化アルミニウム、窒化ケイ素などのファインセラミック用添加剤及び各種コーティング材料として検討し
ております。供給サンプルとしては、酸化イットリウム超微粒子（粒径：10〜60nm）および今後ユーザーの要望を踏まえ様々
な粒径・金属種(酸化ジスプロシウム・酸化ホルミウム等)を提供予定であり、更なる生産能力増強と本格的な事業化を進めてま
いります。

＊1 電磁波の一種であるマイクロ波は、身近なところでは電子レンジに使用されており、マイクロ波を照射することで通常の外
部熱による加熱手法と異なり、被加熱物質を直接加熱する特徴があります。